用上EUV光刻SKhynix宣布明年量产第四代记忆体

ASML公司的EUV光刻机独步全球，现在主要是用在7nm及以下的逻辑製程上，台积电、三星用它生产CPU、GPU等晶片。马上记忆体也要跟进了，SKhynix宣布明年底量产EUV製程记忆体。据报导SKhynix总裁李石熙日前表示，该公司计划将于明年下半年开始在利川厂区M16採用EUV光刻机生产第四代（1anm）DRAM产品。

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2020-10-3015:13上传

李石熙表示M16工厂将于今年底建成，明年上半年开始导入製造设备，目前实验室正在进行準备工作，预计明年开始量产。对记忆体来说它跟CPU逻辑製程一样面临着需要微缩的问题，EUV光刻机可以减少多重曝光製程，提供製程精度，从而可以减少生产时间、降低成本，并提高性能。

当然上EUV的代价也不是没有，EUV光刻机单价10亿元以上，产量还是不如传统DUV光刻机，意味着初期成本会比较高。在SKhynix之前，三星也宣布使用EUV生产记忆体，前不久发布的16Gb容量LPDDR5已经用上了，频宽速度为6400Mbps（等价6400MHz），比现款12GbLPDDR5-5500快了16%。

三大记忆体原厂中，只有Micron对EUV製程不太热心，不过随着前两大厂商上马EUV製程，Micron后续的想法或许也会改变了。

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