无锡邑文微电子科技申请一种ALD设备用自动导片装置专利能够有效对不同尺寸的硅片进行限位 到底什么情况嘞

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1、金融界2024年9月18日消息，天眼查知识产权信息显示，无锡邑文微电子科技股份有限公司,江苏邑文微电子科技有限公司申请一项名为“一种ALD设备用自动导片装置“，公开号CN202411133612.8，申请日期为2024年8月。

2、专利摘要显示，本发明涉及自动导片技术领域，公开了一种ALD设备用自动导片装置，包括导片仓，固定连接于所述导片仓上的储片仓、预热仓以及反应仓，所述导片仓与储片仓、预热仓以及反应仓的连接处均设置有导片口，所述储片仓内设置有能够根据硅片尺寸调节大小的片架，所述片架上固定安装有若干个用于放置硅片的支撑片，所述片架两侧固定安装有磁条，每个所述磁条一端均设置成圆弧形，此自动导片装置，。

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